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            產品詳情
            • 產品名稱:小型單靶等離子濺射鍍膜儀

            • 產品型號:TN-PSP180G-TA
            • 產品廠商:泰諾
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            小型單靶等離子濺射鍍膜儀是我公司研發的實驗室用小型鍍膜儀(基礎型),PLC控制系統,全部觸摸屏操作操作簡單便捷,小型單靶等離子濺射鍍膜儀可濺射Au、Ag、Cu,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。
            詳情介紹:

            產品介紹

            TN-PSP180G-TA小型單靶等離子濺射鍍膜儀采用二級濺射方式,低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。 

            適用范圍

            廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。

            ○ 產品特點

            1:二級低溫等離子體濺射工藝

            2:PLC控制系統,全部觸摸屏操作。

            3:體積小巧造型美觀。

            ○ 技術參數

            產品型號

            TN-PSP180G-TA

            外形尺寸

            500×320×470mm

            重量

            30kg

            電源

            220V 50Hz

            輸入功率

            1500W(含真空泵)

            輸出電壓

            1200V DC

            輸出電流

            50mA(Max電流)

            鍍膜腔尺寸

            Φ180×210mm

            樣品臺尺寸

            Φ100mm

            可選購加熱型樣品臺,溫度可高達500℃,*長濺射時間不可超過5分鐘

            真空泵

            雙極旋片真空泵,1.1L/s(4m3/h)

            進氣口

            裝有精密可調針閥,得以方便的調節進氣量

            靶材尺寸

            Φ50mm,厚度0.5~3mm

            靶材材質

            可選Au、Ag、Pt、Cr、Ni

            包裝

            三合板木質包裝

            ○ 免責聲明

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