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            產品詳情
            • 產品名稱:臺式緊湊型三靶磁控濺射鍍膜儀

            • 產品型號:CY-VTC-3DC
            • 產品廠商:泰諾
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            CY-VTC-3DC是專為非金屬薄膜鍍膜設計的三頭2"射頻等離子磁控濺射系統,主要用于多層氧化物薄膜,是新一代氧化物薄膜研究中性價比*高的鍍膜機 . 直流磁控濺射選項可根據要求提供金屬薄膜沉積,實現三個直流、一個射頻/兩個直流和兩個射頻/一個直流濺射頭配置
            詳情介紹:

            CY-VTC-3DC是專為非金屬薄膜鍍膜設計的三頭2"射頻等離子磁控濺射系統,主要用于多層氧化物薄膜,是新一代氧化物薄膜研究中性價比*高的鍍膜機 . 直流磁控濺射選項可根據要求提供金屬薄膜沉積,實現三個直流、一個射頻/兩個直流和兩個射頻/一個直流濺射頭配置。

            磁控濺射鍍膜儀技術參數:

            輸入功率
             

            ·單相110V AC,50/60Hz

            ·1000W(含真空泵和冷水機)

            磁控濺射靶
             

            ·包括三個帶水冷夾套的 2" 磁控濺射頭,通過快速夾具插入石英室

            ·射頻電纜更換可在CYKY購買

            ·法蘭上內置一個手動百葉窗

            ·包括一臺10L/min數控循環冷水機,用于冷卻濺射頭

            濺射靶材

            ·靶材尺寸要求:2" 直徑 x 1/8" *大厚度

            ·濺射距離范圍:50-80mm可調

            ·濺射角度范圍:0-25°可調

            ·2"直徑Cu靶和Al2O3靶包括用于演示測試

            ·可根據要求提供各種氧化物 2" 濺射靶材,但需額外付費

            ·對于目標鍵合,包括 1 mm 2 mm 銅背板。

            真空腔體

            ·真空腔體:300 毫米外徑 x 500 毫米高,由不銹鋼制成

            ·密封法蘭:直徑274毫米。由鋁制成,帶有高溫硅膠O型圈

            ·包括不銹鋼屏蔽籠,100% 屏蔽來自腔室的射頻輻射

            ·*大真空度:1.0E-5 Torr,可選配渦輪泵和腔體烘烤

            樣品臺

            ·樣品臺是一個可旋轉的加熱臺,由陶瓷加熱器制成,帶有不銹鋼蓋

            ·樣品臺尺寸:直徑50毫米,適合*大 2" 晶圓

            ·轉速:1-10轉可調,涂層均勻

            ·支架溫度可從室溫調節至*高 600 °C600 °C 時*高 5 分鐘;500 °C 時*高 2 小時),通過數字溫度控制器精度為 +/- 1.0 °C

            真空泵 

            ·內置KF40真空接口,用于連接真空泵。

            ·真空度:1.0E-2 Torr 含雙級機械泵

            1.0E-3 Torr 帶可選渦輪泵

            整機尺寸

            540 mm L x 540 mm W x 1000 mm H

            包裝重量

            大約 145 kg

            保修單

            一年有限保修,終身支持

            是否支持定制

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